镀锌螺旋风管,排气体系的分类您了解吗？下面我们就这一题目细致的介绍一下：

　　（1）一样平常排气：其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体，但考虑无尘室空调负荷与过滤装配负荷，因此将废气以一样平常风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。注：GEX采用镀锌螺旋风管，HEX采用SUS304酸排（SEX）、碱排（AEX）体系流程：

　　（2）酸碱性排气：其重要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸体系有刺激性作用有害人体，故必须经过Scrubber中水洗中和处理，再由风机排入大气。

　　（3）有机溶剂排气：其重要来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。

　　（4）碱性剥离排气：重要来源为阵列工程的剥离工序所使用之剥离液,废气首先经过冷凝吸取器,将废气中的剥离液冷却下来,冷凝器吸取处理后的废气所含的废气浓度会大为降落,然后送至Central Scrubber做水洗中和处理，再由风机排大气。

　　（5）应急排气：当洁净室机台端风管内探头感应气体浓度过高时，紧急启用以使生产正常并维持室内环境。
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